팹용 적외선 가열 모듈

리소그래피 공정에서는, 포토레지스트를 가열할 때 약 반도의 온도 변동만으로도 정밀하게 제어되던 선의 굵기가 비정상적으로 변할 수 있습니다. 이러한 상황에서는 일정하지 않은 설정값으로는 생산 효율을 유지할 수 없습니다. 그래서 우리는 공정 중에 온도가 일정하게 유지되도...