기존의 방식을 버리고: 적외선을 이용한 MEMS 웨이퍼 건조 MEMS 센서를 제작할 때, 웨이퍼에 남아 있는 수분을 제거하는 것은 꽤 까다로운 과제입니다. 물을 빠르게 제거해야 하지만, 열을 잘못 조절하면 재료에 스트레스가 가해져 전체 제품의 품질이 저하될 수 있습니...

왜 웨이퍼의 건조 과정에 IR 기술을 도입하는가? 과거의 방식에 대해 이야기해보겠습니다. 오랫동안 우리는 거대한 대류 오븐과 강력한 화학물질들을 사용하여 웨이퍼를 건조시켜 왔습니다. 물론 이 방법도 효과는 있었지만, 매우 비효율적이었습니다. 요즘에는 ‘친환경적’이거나...

와이어 본드 경화용 램프가 고장나지 않도록 하는 방법 와이어 본드를 경화시킬 때는 완벽한 온도를 유지하는 것이 중요합니다. 이를 위해 고강도의 램프와 반사판을 사용합니다. 하지만 문제는, 그렇게 많은 고전압 전력을 작은 공간에 집중시키면 전기 누설이 발생할 수 있다는...

와이어를 깨끗하게 유지하는 방법: 램프가 파손될 때의 문제점들 고부하로 와이어를 생산할 경우, 그 끔찍한 상황을 잘 알고 있을 것입니다. 바로 램프가 파손되는 것이죠. 단순히 생산이 중단된다는 문제뿐만 아니라, 파편들이 와이어 위로 떨어져서 큰 피해를 줍니다. 한 번...

생산 라인에서는 리소그래피 장비가 드리프트 현상을 견딜 수 없습니다. 소프트 베이크 과정에서 2°C만의 온도 변화라도 포토레지스트의 두께에 영향을 주며, 하드 베이크 과정에서는 잔존 스트레스가 필름에 그대로 남게 됩니다. 이는 단순한 이론이 아니라, 폐기된 웨이퍼나...