램 리서치 히터 교체

공정 현장에서 히터 드리프트는 큰 경고 신호를 발생시키지 않는다. 이는 소프트 베이크 온도가 변동하기 시작하거나, 크리티컬 디멘션 스프레드가 넓어지며, 포토레지스트 프로파일이 규격 범위를 벗어나는 형태로 나타난다. 계획되지 않은 다운타임 1분마다 좋은 웨이퍼 손실이...