난방 장치로 인해 생산 효율이 떨어지는 것을 막으세요. 클래스 100급 청정실을 운영하고 있다면, 그 고통스러운 상황을 잘 알고 있을 것입니다. 아주 작은 먼지 한 점이나 가스 방출만으로도 생산 효율이 급격히 떨어집니다. 정말 짜증나는 일입니다. 특히 웨이퍼나 반도체...

공기를 가열하는 것을 그만두세요: 반도체 열 관리를 위한 더 스마트한 방법 전통적인 대류식 오븐에 대해 솔직히 말하자면, 이는 사실상 거대한 상자에 불과합니다. 그 안의 공기 중의 모든 분자를 가열함으로써 겨우 작은 웨이퍼의 온도를 맞추는 것입니다. 이는 엄청난 에너...

반도체 제조 공정에서, 소프트 베이크나 하드 베이크 과정 중에 온도가 변동하면 단순히 생산이 중단되는 것에 그치지 않고, 실제적인 결함으로 이어집니다. 소프트 베이크 시 온도가 너무 낮으면 용매가 리젝트 내에 남게 되고, 하드 베이크 시 온도가 너무 높으면 액체가 흘...