극자외선(EUV) 리지스트 가열기 부품들
서론
사실을 말하자면, 우리가 EUV 리지스트 가열 장치를 만드는 이유는 단 하나입니다. 바로 고객의 리소그래피 장비가 계속해서 정상적으로 작동할 수 있도록 하는 것입니다. 멈추는 일은 없어야 합니다. 문제도 발생해서는 안 됩니다.
요구되는 사양은 매우 까다롭고, 허...
와이퍼 가공용 예비 부품 온라인 판매
생산 라인에서는 리소그래피 장비가 드리프트 현상을 견딜 수 없습니다. 소프트 베이크 과정에서 2°C만의 온도 변화라도 포토레지스트의 두께에 영향을 주며, 하드 베이크 과정에서는 잔존 스트레스가 필름에 그대로 남게 됩니다. 이는 단순한 이론이 아니라, 폐기된 웨이퍼나...