오존이 없는 적외선 램프

왜 우리는 고온 공기 대신 오존이 없는 적외선을 사용하는가? 솔직히 말해서, 반도체 가공에 고온 공기를 사용하는 것은 효율적이지 않습니다. 너무 느립니다. 사실상 공기를 가열한 다음, 그 열이 부품을 따뜻하게 해주길 기다리는 것에 불과합니다. 이는 중간 단계가 필요하...