웨이퍼 가열을 위한 안전 거리

왜 웨이퍼의 건조 과정에 IR 기술을 도입하는가? 과거의 방식에 대해 이야기해보겠습니다. 오랫동안 우리는 거대한 대류 오븐과 강력한 화학물질들을 사용하여 웨이퍼를 건조시켜 왔습니다. 물론 이 방법도 효과는 있었지만, 매우 비효율적이었습니다. 요즘에는 ‘친환경적’이거나...