Meninggalkan cara lama: Mengeringkan wafer MEMS menggunakan sinar inframerah
Ketika membuat sensor MEMS, membuang kelembapan daripada wafer tersebut merupakan proses yang agak rumit. Anda perlu membuang air tersebut dengan cepat, tetapi jika suhu yang digunakan tidak sesuai, ia akan merosakkan bahan tersebut dan merosakkan keseluruhan kumpulan wafer tersebut.
Itulah sebabnya kita menggunakan lampu inframerah berfrekuensi rendah. Bayangkanlah oven konvensional biasa – ia memanaskan udara, dinding, dan seluruh bilik hanya untuk mengeringkan satu wafer sahaja. Ini merupakan pembaziran tenaga. Sinar inframerah pula berbeza; ia menyinari permukaan wafer secara langsung, tanpa melalui medium lain.
Fizik di sebaliknya sebenarnya sangat mudah.
Lampu ini menukar tenaga elektrik kepada haba. Kita mengatur agar tenaga tersebut tertumpu pada permukaan wafer, sehingga air dapat dipindahkan dari permukaan wafer dalam masa beberapa saat sahaja. Oleh kerana kita tidak perlu memanaskan udara di sekeliling wafer, maka tenaga yang dibazirkan juga berkurangan. Inilah kelebihannya.
Sekarang, tentang komponen lampu tersebut.
Lampu ini dibina menggunakan filamen tungsten di dalam kuarsa yang berkualiti tinggi. Untuk menjadikannya lebih efektif, kita tambahkan lapisan khas pada kuarsa tersebut. Inilah rahsianya – ia memastikan tenaga tersebut ditumpukan pada titisan air, bukannya meresap ke dalam substrat silikon.
Namun, perlu berhati-hati dengan penggunaan tenaga. Lampu ini sangat efektif kerana kuasanya yang tinggi, tetapi ia akan memberi tekanan yang besar pada sumber tenaga anda. Jika kabel yang digunakan tidak mampu menahan arus yang tinggi tersebut, maka fusibel akan sering rosak.
Menggunakannya di kilang.
Jika anda masih menggunakan sistem berasaskan gas atau oven besar, maka tukarlah ia kepada sistem inframerah. Ini akan mengurangkan penggunaan tenaga per wafer. Kami merancang lampu ini supaya boleh digunakan sebagai pengganti yang mudah, jadi anda tidak perlu menghentikan proses pengeluaran untuk tempoh yang lama. Wafer dapat diproses dengan lebih cepat, dan pelepasan karbon juga berkurangan.
Satu perkara yang perlu diingat: semakin tinggi intensiti cahaya, semakin perlu anda memastikan bahagian lampu tersebut disejukkan dengan baik. Jika tidak, penyambung lampu akan cair, dan itu pasti akan menimbulkan masalah.