На виробничій лінії процес висушування фотополімеру – це не просто ще один крок у процесі виготовлення чипів. Це своєрідний „термічний якор“, який допомагає підтримувати контроль над критичними розмірами елементів чипа. Навіть незначна зміна температури на 2°C під час процесу висушування може призвести до порушення всіх параметрів літографії. Тоді весь процес виробництва починає відхилятися від заданих параметрів.
Ми розробили спеціальні лампи для висушування фотополімеру, які дозволяють підтримувати стабільні температурні умови протягом усього процесу виробництва.
Що є важливим з технічної точки зору Ми використовуємо обладнання для надчервоного опромінення, що дозволяє досягти однорідності температури на поверхні чипа на рівні менше міліметра. Це забезпечує стабільність параметрів температури в рамках допустимих значень. Профіль нагріву адаптований для фотополімеру: енергія подається швидко, без пошкодження поверхні чипа; температура залишається стабільною по всій поверхні чипа; також існує можливість швидкого відновлення параметрів після закінчення процесу виробництва.
Чому це важливо для літографії Процес висушування фотополімеру впливає на процес видалення розчинників та на зчеплення шару фотополімеру з поверхнею чипа. Завдяки цим лампам досягається однорідність температури на поверхні чипа, можлива робота в чистих умовах, а також відсутність утворення частинок. Це дозволяє підтримувати високий рівень продуктивності та зменшувати кількість бракованих продуктів.
Система працює 24/7 з передбачуваними результатами, тож несплановані перерви зникають. Ви витрачаєте менше часу на налаштування параметрів процесу висушування та більше часу на виробництво якісних чипів.
Що потрібно зробити правильно Лампи для надчервоного опромінення потребують ретельної інтеграції в систему висушування: їх необхідно налаштувати так, щоб вони працювали правильно щодо поверхні чипа, потрібен контрольований процес охолодження, а також належний захист від впливу зовнішніх факторів. Надійне живлення та ефективне управління теплом є необхідними для підтримки однорідності температурних умов.
Ми надаємо інструкції щодо встановлення ламп, щоб вони відразу почали працювати за заданими параметрами. Ми також розробляємо систему відповідно до геометрії вашої лабораторії та цілей щодо продуктивності.