保持半导体加热过程的清洁性
如果你身处100级洁净室中，那么你肯定知道，空气过滤器只是解决问题的手段之一而已。真正棘手的问题在于那些看不见的污染物。
大多数红外灯都会带来问题——它们的涂层会脱落，或者石英材料在高温作用下会破裂，从而让微小的颗粒落在硅片上。这简直就是一场噩梦。
为何选择黄金作为涂层材料
我们选择了高纯度的黄金作为石英外壳的涂层，以此来避免上述问题。黄金的优点在于它不会氧化。与那些容易损坏的廉价反射材料不同，黄金即使在极端高温下也能保持稳定。它能将红外辐射精确地引导到所需的位置，而不会浪费能量在灯体上。
关于材料的详细说明
灯的核心部分是由高纯度合成石英制成的。这样就能确保在加热过程中不会有任何杂质渗出，从而避免在硅片上留下痕迹。我们通过真空沉积法来涂覆黄金，这样可以形成牢固的结合层，即使温度急剧变化时，涂层也不会脱落。当处理300毫米大小的硅片时，这几微米的黄金涂层就能保证芯片不会被损坏。
需要注意的事项
虽然镀金灯是最理想的解决方案，但它们也有一些缺点。首先，绝对不要用裸手触摸镀金表面。哪怕是少量的皮肤油脂，都可能在初次加热时侵蚀黄金涂层，从而导致“热点”现象。这是一个很容易犯的错误，但其后果却很严重。此外，由于黄金会影响热量的释放方式，因此可能需要调整PID控制器。如果不这么做的话，就有可能使温度超出控制范围。最后，建议使用专用的电源，这样才能保持电压稳定，避免灯丝过早烧毁。