摒弃旧方法：用红外线干燥MEMS晶圆 在制造MEMS传感器时，去除晶圆上的水分是一项颇具挑战性的任务。必须尽快除去水分，但若控制不好温度，就可能会对材料造成损伤，从而导致整批产品报废。 因此，我们选择使用短波红外线灯。 想象一下传统的对流式烤箱——它需要加热空气、炉壁以及整个房间，只为干燥一块晶圆...

确保氢气传感器中的加热器不会发生故障 在制造氢气传感器时，控制好温度至关重要。适当的温度有助于让各种材料结合在一起，同时保证传感元件的稳定性。我们设计的加热器能够承受较高的热量负荷，但说实话，真正让我们担心的并不是高温本身，而是电泄漏问题。只要绝缘层出现哪怕一丝裂缝，就可能导致控制板损坏或基板受到...

保持晶圆清洁：关于灯管爆裂的真相 如果您从事高负荷的晶圆生产，那么您肯定知道那种糟糕的情况——灯管突然爆裂了。这不仅仅是导致生产线停摆的问题，更严重的是随之而来的混乱状况。当石英外壳破裂后，玻璃碎片和钨丝就会掉落在晶圆上，整个批次的晶圆都会报废。这无疑是一场灾难。 我们花了大量时间来研究如何避免这...