全球半导体机械贸易

在芯片制造厂中，24/7不间断的运作要求温度控制必须极其精确。95°C的低温烘烤和110°C的高温烘烤——这些温度值直接决定了线条宽度的控制精度以及产品缺陷率。如果温度波动超过±0.5°C，就会导致CD值的偏差，进而引发各种质量问题。 我们设计的加热系统完全符合半导体设备的实际需求，可以直接替代现...