如何防止晶圆固化灯出现故障 在处理晶圆固化过程时，我们追求的是完美的温度控制。为此，我们会使用高强度的灯管以及专为精确控制而设计的反射器。不过，问题在于：当如此高的电压被集中到一个小空间内时，就很容易出现电气泄漏的问题。如果不妥善处理的话，那可真是麻烦大了。 为什么我们要对每盏灯进行测试 我们不会...

避免晶圆加工过程中灯管故障带来的灾难性后果 如果你曾经遇到过在高负荷运行时红外灯管爆裂的情况，那么你就知道这不仅仅是停机问题那么简单。玻璃碎片和钨丝会掉落在晶圆上，从而导致严重的污染问题。 我们花了大量时间来研究如何避免这种情况的发生。 为什么铝制反射器如此重要 我们使用高纯度的铝制反射器，其作用...

在光刻车间里，光刻胶处理过程中产生的温度波动其实是可以提前感知到的。此时，光刻胶的层叠结构会开始出现偏差，CD精度也会受到影响，同时，软烘烤和硬烘烤过程中的温度控制也会变得不稳定。一旦出现这种情况，产品的良率也会随之下降。 关键所在 我们设计的这种红外线灯泡采用了金反射器结构，能够将近红外光精准地...