洁净室烤箱红外加热器

防止碎片飞溅：在红外灯失效时保护晶圆免受污染 在大规模半导体生产线上，哪怕只有一盏红外灯出现故障，都可能让整个生产过程陷入混乱。所谓“故障”，指的就是那盏红外灯突然损坏。一旦发生这种情况，不仅会有灯泡损坏的问题，还有石英碎片和金属粉尘掉落在晶圆上，这简直就是一场噩梦。 因此，我们专门设计了洁净室加...