带金色反光罩的红外灯管

在光刻车间里，光刻胶处理过程中产生的温度波动其实是可以提前感知到的。此时，光刻胶的层叠结构会开始出现偏差，CD精度也会受到影响，同时，软烘烤和硬烘烤过程中的温度控制也会变得不稳定。一旦出现这种情况，产品的良率也会随之下降。 关键所在 我们设计的这种红外线灯泡采用了金反射器结构，能够将近红外光精准地...