Lam Research 加热器更换

在晶圆厂车间，heater drift（加热器漂移）不会触发明显的红色报警。它表现为软烘烤温度开始偏离、关键尺寸扩散变宽，以及光刻胶剖面超出合格范围。每一分钟的非计划停机都会导致良品晶圆损失。 我们设计了这款Lam Research加热器替换件，旨在将热控制恢复到原系统预期的位置。 实际负载下关键...