工厂干燥系统的能源审计
别再让加热器破坏你的生产效率了 如果你在操作100级洁净室,那你就知道其中有多麻烦了。哪怕只有一点灰尘或微量气体泄漏,都会严重影响生产效率。这真是令人沮丧。尤其是那些用于烘干晶圆或制造零件的工具,它们本身也会向工作区域释放颗粒物。
因此,我们选择了高纯度的合成石英红外灯。
秘诀就在于石英本身。
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MEMS传感器晶圆干燥加热器
摒弃旧方法:用红外线干燥MEMS晶圆
在制造MEMS传感器时,去除晶圆上的水分是一项颇具挑战性的任务。必须尽快除去水分,但若控制不好温度,就可能会对材料造成损伤,从而导致整批产品报废。
因此,我们选择使用短波红外线灯。
想象一下传统的对流式烤箱——它需要加热空气、炉壁以及整个房间,只为干燥一块晶圆...
批发式晶圆烘干灯
我们设计的这款晶圆干燥灯,旨在与美国和日本的顶级品牌相媲美。我们的目标很明确:提供与那些高端产品相同的热性能和稳定性,只不过价格更为实惠。这样,您就可以使用这款替代品来维持生产线的正常运转,而无需在质量或稳定性上做出任何妥协。
热量的来源 这款灯的电压为400伏特,功率为2500瓦特。我们选择这样...
去离子水干燥灯
在300mm生产线上,一次清洗后留下的水印足以报废整批晶圆。我们设计了去离子水干燥灯,以消除这一失效模式,实现受控蒸发,无薄膜残留且无颗粒偏差。
技术关键点
该灯将短波红外发射器集成在密封的洁净室兼容外壳中。其直接加热晶圆表面,避免了对流加热带来的滞后。晶圆上的温度均匀性保持在±0.1℃,设定点重...