用于工厂的红外加热模块

在光刻工艺中，只要光刻胶的烘干温度出现半度的偏差，就会导致原本可控的线宽出现偏差。如果控制参数不断变化，就无法保证产品的合格率。因此，我们设计了红外加热模块，以确保在整个生产过程中，温度始终处于可控范围内。 从技术上来看，关键点在于： 我们使用具有快速响应特性的短波红外发射器，这样就能实现快速的升...