去离子水干燥灯

在300mm生产线上，一次清洗后留下的水印足以报废整批晶圆。我们设计了去离子水干燥灯，以消除这一失效模式，实现受控蒸发，无薄膜残留且无颗粒偏差。 技术关键点 该灯将短波红外发射器集成在密封的洁净室兼容外壳中。其直接加热晶圆表面，避免了对流加热带来的滞后。晶圆上的温度均匀性保持在±0.1℃，设定点重...