MEMS传感器晶圆干燥加热器

摒弃旧方法：用红外线干燥MEMS晶圆 在制造MEMS传感器时，去除晶圆上的水分是一项颇具挑战性的任务。必须尽快除去水分，但若控制不好温度，就可能会对材料造成损伤，从而导致整批产品报废。 因此，我们选择使用短波红外线灯。 想象一下传统的对流式烤箱——它需要加热空气、炉壁以及整个房间，只为干燥一块晶圆...