半导体检测工具加热器

在晶圆厂车间，晶圆干燥或光刻胶烘烤过程中仅0.1°C的偏移就足以使关键尺寸超出规格。结果显而易见——废料增加，产线停滞。检测工具上的加热器不是附加设备，它们是确保工艺稳定的热锚，保证每一批次都能准确运行。 我们设计的半导体检测工具加热器能够保持晶圆级的热均匀性在±0.1°C内，使每次软烘、硬烘和固...