红外灯安装夹

在光刻车间里，温度的微小变化都会带来严重后果：光刻胶烘烤时的0.5°C温度波动就足以让关键尺寸发生几纳米的变化，从而导致光刻工艺无法达到标准要求。那个红外灯固定夹并非单纯的支撑部件，它实际上起着维持晶圆表面温度均匀性的作用，确保温度控制在±0.1°C范围内，这样才能保证各种烘烤过程的温度处于理想状...