为什么我们要如此重视对真空红外加热器的测试？ 在真空环境中，规则都会发生变化。当把腔室内的空气抽出后，电的行为方式也会随之改变。在普通房间里，空气起到了绝缘的作用；但在真空中，这种绝缘作用就不存在了。这样一来，电弧放电或绝缘层彻底失效的风险就会变得非常现实。 我们设计的加热器能够应对这些极端状况，...

在300mm生产线上，软烘不是可选项——它就是你的热预算，直截了当。晶圆上2°C的温差就能导致关键尺寸（CD）产生纳米级偏移，而真空腔室只会加剧这种漂移。我们设计的真空腔室红外加热器就是为了消除这类变量，使温度保持可重复，满足光刻和薄膜工艺的需求。 关键技术细节 我们采用短波红外（NIR）发射器，...