Hören Sie auf, Ihre Transportwagen für die Reinräume in „Raumheizgeräte“ zu verwandeln!
Wenn man Halbleiterwafern transportiert, ist es wichtig, diese bei der richtigen Temperatur zu halten. Lange Zeit wurde dazu konventionelle Heizungen verwendet. Das Problem dabei: Solche Heizungen heizen einfach alles auf. Der Transportwagen wird somit zu einer Art riesigem Radiator – die Mitarbeiter riskieren Verbrennungen, wenn sie die Außenwände berühren.
Das ist wirklich chaotisch. Deshalb haben wir beschlossen, statt gegen die Luft anzukämpfen, stattdessen direkte Infrarot-Heizung zu verwenden.
Wie das funktioniert
Stellen Sie es sich wie eine Taschenlampe vor – nur mit Wärme. Anstelle dessen, dass alle Luft im Inneren des Transportwagens erhitzt wird, strahlen die Infrarotlampen elektromagnetische Strahlung in gerader Linie ab. Die Energie wird erst dann zu Wärme, wenn sie das Ziel erreicht.
Durch eine geeignete Platzierung der Lampen sowie den Einsatz von Reflektoren können wir die Wärme gezielt auf die Wafer richten. Die Innenwände nehmen keine überschüssige Energie auf – dadurch bleibt der Transportwagen kühl. Die Wärme kommt genau dorthin, wo sie benötigt wird – und nirgendwo sonst.
Die Nachteile (denn nichts ist perfekt)
Wir verwenden in der Regel Kurzwellenquarzlampen. Sie sind großartig, denn sie bringen die gewünschte Temperatur fast sofort zum Tragen. Man muss sie einfach mit der Stromversorgung des Transportwagens verbinden – schon hat man eine sehr genaue Kontrolle über die Temperatur.
Aber es gibt einen Haken: Die Wärme ist extrem konzentriert. Wenn ein Reflektor aus der Ausrichtung gerät oder der Transportwagen ohne Ladung gefahren wird, gelangt die Energie an die Innenwände. Man muss sicherstellen, dass die Innenschicht dieser Wellenlänge standhält – sonst kann der Rahmen beschädigt werden.
Warum das das Leben erleichtert
Der beste Vorteil ist, dass man auf die schwere, sperrige Isolierung an der Außenseite des Transportwagens verzichten kann. Dadurch bleibt die Größe des Transportwagens gering – was eine große Erleichterung für die Luftzirkulation in dem Reinraum bedeutet. Zudem können die Mitarbeiter die Ausrüstung bedienen, ohne Angst haben zu müssen, sich zu verbrennen. Dadurch wird die gesamte Konstruktion einfacher – und man muss nicht mehr versuchen, den Raum mit der Klimaanlage abzukühlen, nur weil man ein paar Wafer transportiert.