Hören Sie auf, Ihre Energie zu verschwenden: Warum goldbeschichtete Doppelröhren tatsächlich funktionieren
Beim Erhitzen von Halbleiterwafern ist jede einzelne Wattzahl wichtig.
Das Problem mit herkömmlichen Quarzlampen ist Folgendes: Sie strahlen ihre Energie überallhin ab. Ein großer Teil der teuren Energie geht einfach an die Wände der Kammer verloren – das ist eine Verschwendung.
Deshalb verwenden wir goldbeschichtete Doppelröhrenlampen.
Die Magie des Goldes
Es klingt exotisch, aber es handelt sich dabei um einfache Physikregeln. Gold reflektiert Infrarotlicht viel besser als Aluminium oder poliertes Stahl. Durch die Verwendung einer dünnen Goldschicht auf der Außenhülle entsteht so eine Art Spiegel, der die gesamte Wärme wieder auf die Wafer zurückreflektiert.
So wird die Energie gezielt eingesetzt. Die Wärmeverteilung wird verbessert, und die Aufheizzeiten werden erheblich verkürzt. Keine Energie geht mehr in den Maschinenrahmen verloren.
Mehr Leistung, weniger Stress
Außerdem gibt es noch den Vorteil der Doppelröhre: Durch die Verdopplung der Oberfläche des Filaments in demselben kleinen Raum kann die Leistung erhöht werden, ohne dass ein einzelnes Filament überlastet wird. Dadurch entsteht eine höhere Wärmestärke pro Quadratzoll – ohne die ständige Angst vor einem vorzeitigen Verschleiß des Filaments.
Ein kleiner Tipp: Wir bauen diese Lampen für Hochvoltsysteme, um den Stromverbrauch unter Kontrolle zu halten. Wenn Sie einen großen Array verwenden, stellen Sie sicher, dass Ihre Stromquellen in der Lage sind, den Anfangsspitzenstrom zu bewältigen.
In der Praxis
Diese Lampen sind als Ersatz für Ihre Heizsysteme konzipiert. Sie können die kontinuierlichen, schnellen Wechsel zwischen verschiedenen Temperaturen bewältigen, ohne dabei auszufallen.
Aber Achtung: Gold ist empfindlich. Wenn Ihr Prozess korrosive Gase verwendet oder viel Staub erzeugt, wird die Beschichtung beeinträchtigt. Mit der Zeit nimmt die Reflektionsleistung ab. Halten Sie die Optik sauber – sonst wird die Wärmeverteilung ungleichmäßig, was zu ungleichmäßiger Erwärmung der Wafer führt. Halten Sie die Lampen sauber, dann werden sie Ihnen gute Dienste leisten.