Pourquoi nous abandonnons l’air chaud au profit des lampes infrarouges sans ozone
Soignons-nous de la vérité : compter sur l’air chaud pour le traitement des semi-conducteurs est extrêmement lent. On chauffe simplement l’air, dans l’espoir que celui-ci réchauffe finalement la pièce à traiter. C’est un processus intermédiaire qui gaspille énormément de temps.
En passant à des lampes infrarouges sans ozone, tout change. Au lieu d’attendre que l’air se réchauffe, on utilise des rayonnements infrarouges. L’énergie atteint directement le substrat, sans aucun intermédiaire. Résultat : plus de temps perdu.
Les problèmes liés à la convection
Si vous avez déjà travaillé avec des systèmes à air chaud, vous connaissez bien les difficultés : les temps de chauffage semblent interminables, et le retard thermique est un vrai cauchemar. Sans parler de la géométrie de la pièce à traiter : si vous changez sa forme, il vous faudra des heures pour recalibrer le flux d’air.
Nos lampes infrarouges éliminent ces problèmes. Nous utilisons une combinaison spéciale de quartz et des émetteurs filtrés pour bloquer la longueur d’onde de 185 nm. Pourquoi ? Parce que c’est cette longueur d’onde qui transforme l’oxygène en ozone. En environnement propre, l’ozone est un désastre : il contamine tout et endommage les wafer sensibles. En bloquant cette longueur d’onde, nous maintenons un environnement propre pendant le traitement.
Quels sont les avantages pour votre workflow
Le chauffage par infrarouges permet de cibler précisément une zone spécifique du wafer, sans avoir à chauffer toute la chambre. C’est rapide, vraiment très rapide. Selon notre expérience, le passage aux lampes infrarouges permet de réduire les temps de traitement de 40 % à 70 %. Vous obtenez ainsi une densité de chaleur importante exactement là où elle est nécessaire, et vous pouvez augmenter ou diminuer la température en un temps record.
Les inconvénients (car il y en a toujours un)
Vous ne pouvez pas simplement placer une lampe infrarouge dans un vieux four à convection et penser que tout ira bien. Les lampes infrarouges nécessitent une ligne de vision claire. Si votre pièce à traiter a des rainures profondes ou une forme complexe, vous rencontrerez des problèmes de réchauffement localisé. En fait, si la lumière ne peut pas atteindre certaines zones, elle ne peut pas les chauffer. Pour résoudre cela, il vous faudra utiliser plusieurs lampes ou des réflecteurs pour diriger l’énergie vers ces zones.
Un autre point important : comme le transfert de chaleur est très rapide, vos contrôleurs doivent être capables de suivre ce rythme. Si vous utilisez des systèmes de contrôle lents, vous risquez de dépasser la température souhaitée, ce qui endommagerait le substrat. Il vous faut donc un système capable de réagir aussi rapidement que les lampes.