הקדמה
האמת היא שאנו מייצרים רכיבי חימום לשימוש בטכנולוגיית EUV מסיבה אחת בלבד – כדי שכלי הליתוגרפיה שלכם יוכלו לעבוד ללא הפסקה. בלי זמני עצירה, בלי בעיות.
הדרישות הן קפדניות מאוד, הטלורנציות צרות מאוד, והסביבה בה הרכיבים פועלים היא קיצונית. לכן אנו נותנים אחריות של 24 חודשים על איכות הרכיבים שלנו. ואם משהו ישתבש, אנו נעזור לכם בתוך 24 שעות. כי כשהציוד שלכם לא עובד, כל דקה עולה לכם הרבה כסף.
פרטים טכניים
חימום הרכיבים בטכנולוגיית EUV דורש שליטה מדויקת בטמפרטורה. לכן, רכיבי החימום שלנו מורכבים ממערכת של 400V כמתח הכניסה ו-2500W כהספק הפלט. שילוב זה של מתח גבוה והספק גבוה מאפשר עלייה מהירה בטמפרטורה, דבר שחיוני לתפקוד יעיל של הרכיבים.
בחרנו באורך של 300 ממ לצינור – כך שהרכיב מתאים בצורה מושלמת לאזורי החימום הסטנדרטיים. כך ניתן להחליף אותו בקלות, ללא צורך בשינויים בגאומטריה של הציוד.
חומרים ועיצוב
בתוך הרכיב יש רכיב הלוגן בעל גלים קצרים, שמוקף במעטפת קוורץ. הקוורץ מאפשר חימום וקירור מהירים, והוא נשאר נקי גם בתנאי ואקום. ספקטרום הגלים הקצרים מרכז את האנרגיה בדיוק במקום הנדרש, עם רמה מינימלית של קרינה לא רצויה.
הציפוי המיוחד של הרכיב מאפשר העברה יעילה של אנרגיית אינפרא-אדום למטרה הרצויה, כך שניתן להשיג חימום יעיל יותר ולהפחית את בזבוז החום.
החיבור R7s מבטיח שהכל יהיה מאובטח ומיושר, גם בתנאי רעידות. קל לחבר את הרכיב, מה שמקל על ההתקנה ומונע נקודות חם בנקודות החיבור.
יישום ויתרונות
בתפקיד של חימום רכיבים בטכנולוגיית EUV, הרכיבים שלנו מאפשרים חימום אפקטיבי בדיוק במקום הנדרש – כך שניתן לשלוט בטמפרטורה בצורה מהירה ואמינה.
חוזה האחריות של 24 חודשים אינו רק הבטחה – הוא מבוסס על תהליכי ייצור מבוקרים ובדיקות בתנאי מציאות. כך ניתן לתכנן את התחזוקה בביטחון.
וכשמשהו ישתבש, התמיכה הטכנית שלנו תסייע לכם לפתור את הבעיות במהירות.
דבר אחד חשוב לזכור: פעולה במתח של 400V והספק של 2500W דורשת מערכת קירור יעילה. מערכת הניהול התרמי של המכונה חייבת להיות איכותית. אנו מספקים את רכיבי החימום ואת התמיכה הנדרשת, כדי שהתהליך שלכם יהיה יציב.