वेफर प्रसंस्करण में होने वाली खराबियों को रोकना
यदि आपने कभी उच्च भार के कारण IR लैंपों में खराबी होते देखी है, तो आप जानते ही होंगे कि इससे सिर्फ बंद होने का ही समस्या नहीं होती… यह तो एक बड़ी आपदा है। काँच के टुकड़े एवं टंगस्टन फिलामेंट वेफरों पर गिरते हैं, जिससे वेफर दूषित हो जाते हैं।
हमने इस समस्या को दूर करने हेतु बहुत समय लगाया है।
एल्यूमिनियम रिफ्लेक्टरों का महत्व
हम उच्च-शुद्धता वाले एल्यूमिनियम रिफ्लेक्टरों का उपयोग करते हैं… ऐसा इसलिए है ताकि ऊष्मा को नियंत्रित किया जा सके। इन रिफ्लेक्टरों को एक सुरक्षात्मक उपकरण के रूप में भी उपयोग में लाया जाता है। यदि लैंप में कोई खराबी हो जाती है, तो ये रिफ्लेक्टर अधिकांश कचरे को रोक लेते हैं।
इसके अलावा, इन रिफ्लेक्टरों की सही आकृति के कारण आपको कम ऊर्जा में ही वांछित तापमान प्राप्त हो जाता है… यह बहुत बड़ा लाभ है… क्योंकि क्वार्ट्ज पर कम ऊष्मा का दबाव पड़ता है, जिससे लैंप लंबे समय तक काम करते रहते हैं।
चीजों को साफ रखना
हम लैंप एवं वेफर के बीच सुरक्षात्मक आवरण भी लगाते हैं… यह एक सरल उपाय है, लेकिन इससे बहुत समस्याओं से बचा जा सकता है। यदि लैंप में कोई खराबी हो जाती है, तो यह आवरण कचरे को रोक लेता है… आपको पूरे चैंबर को साफ करने की आवश्यकता ही नहीं पड़ती।
हम कनेक्शन बिंदुओं पर भी विशेष ध्यान देते हैं… हमने कई बार देखा है कि ढीले कनेक्शनों के कारण लैंपों में खराबी हो जाती है… इसे रोकने हेतु हम सुरक्षित कनेक्शन बिंदुओं का ही उपयोग करते हैं।
नुकसान/लाभ
हालाँकि, रिफ्लेक्टरों एवं आवरणों के कारण सिस्टम का वजन बढ़ जाता है… ऐसे में ऊष्मा बढ़ाने में थोड़ी देरी हो सकती है… लेकिन यह तो वेफरों की सुरक्षा हेतु एक छोटी कीमत ही है।