हम गर्म हवा के बजाय ओज़ोन-रहित इन्फ्रारेड तकनीक क्यों उपयोग में ला रहे हैं?
ईमानदारी से कहें तो, सेमीकंडक्टर प्रसंस्करण हेतु गर्म हवा का उपयोग करना बहुत ही धीमी प्रक्रिया है। इसमें बहुत समय लगता है। वास्तव में, हम तो बस हवा को गर्म कर रहे हैं, उम्मीद कर रहे हैं कि वह हवा अंततः चिप को गर्म कर देगी। यह तो एक अनावश्यक प्रक्रिया है, जिससे बहुत समय बर्बाद होता है।
ओज़ोन-रहित इन्फ्रारेड लैम्पों का उपयोग करने से स्थिति बदल जाती है। अब हमें हवा का इंतज़ार नहीं करना पड़ता; बल्कि हम विकिरण का उपयोग करते हैं। ऊर्जा सीधे ही चिप तक पहुँच जाती है… कोई मध्यस्थ नहीं।
गर्म हवा की समस्याएँ
यदि आपने गर्म हवा वाली प्रणालियों का उपयोग किया है, तो आपको पता ही होगा कि चिप को गर्म करने में बहुत समय लगता है… और थर्मल लैग भी बहुत ही समस्याजनक है। चिप के आकार में बदलाव करने पर तो हवा के प्रवाह को पुनः संतुलित करने में घंटों समय लग जाता है।
हमारे इन्फ्रारेड लैम्प इन समस्याओं को दूर करते हैं। हम विशेष क्वार्ट्ज मिश्रण एवं फिल्टर्ड एमिटरों का उपयोग करते हैं, ताकि 185नैनोमीटर तरंगदैर्घ्य की ऊर्जा बाहर रहे। क्यों? क्योंकि यही ऊर्जा ऑक्सीजन को ओज़ोन में बदल देती है। क्लीनरूम में ओज़ोन बहुत ही खतरनाक है… यह सब कुछ को दूषित कर देता है, एवं संवेदनशील चिपों को नष्ट कर देता है। इसे रोककर हम प्रक्रिया को स्वच्छ रखते हैं।
इससे आपके कार्यप्रवाह पर क्या प्रभाव पड़ता है?
इन्फ्रारेड तकनीक के उपयोग से आप बहुत ही तेज़ी से चिप को गर्म कर सकते हैं… आप केवल चिप के किसी विशेष हिस्से को ही गर्म कर सकते हैं, पूरे चैंबर को नहीं।
यह बहुत ही तेज़ है… वाकई में।
हमारे अनुभव से, इन्फ्रारेड तकनीक के उपयोग से चिप को गर्म करने में लगने वाला समय 40% से 70% तक कम हो जाता है। आपको चिप की सतह पर ठीक वहीं ऊष्मा मिलती है, जहाँ आपको चाहिए… एवं आप तेज़ी से तापमान बढ़ा/घटा सकते हैं।
“नुकसान”… (क्योंकि हमेशा ही कोई न कोई नुकसान होता है)
अब, आप बस इन्फ्रारेड लैम्प को पुराने ओवन में रखकर इसे काम में लगा नहीं सकते।
इन्फ्रारेड तकनीक में तो प्रकाश को सीधे ही चिप तक पहुँचना होता है… यदि चिप में गहरी खाँचें हैं, या उसका आकार अजीब है, तो प्रकाश वहाँ नहीं पहुँच पाएगा… ऐसी स्थिति में आपको मल्टी-लैम्प एरे या परावर्तकों का उपयोग करना होगा, ताकि ऊर्जा वहाँ भी पहुँच सके।
एक और बात… चूँकि ऊष्मा बहुत ही तेज़ी से पहुँचती है, इसलिए आपके कंट्रोलरों को भी उतनी ही तेज़ी से काम करना होता है… यदि आप धीमे PID लूपों का उपयोग कर रहे हैं, तो आपको अपने लक्षित तापमान से अधिक ऊष्मा मिल जाएगी… ऐसी स्थिति में चिप नष्ट हो जाएगी। आपको ऐसी प्रणाली की आवश्यकता है, जो लैम्पों की तेज़ गति के अनुरूप काम कर सके।