Mengapa kita beralih kepada kaedah pengeringan menggunakan sinar inframerah untuk wafer
Mari kita bicara tentang cara lama untuk mengeringkan wafer. Selama bertahun-tahun, kita bergantung pada ketuhar konveksi yang besar serta bahan kimia berbahaya untuk tujuan tersebut. Kaedah ini memang berkesan, tetapi ia kurang efisien.
Kini, pendekatan “ hijau” atau bebas plumbum bukan sekadar syarat yang perlu dipenuhi oleh pihak berkuasa. Ia juga bertujuan untuk menghilangkan bahan kimia berbahaya seperti VOCs, serta mengurangkan jejak karbon di dalam bilik bersih tersebut. Ini merupakan cara yang lebih baik.
Bagaimana sinar inframerah berfungsi
Bayangkan ketuhar konveksi biasa. Udara dipanaskan terlebih dahulu, kemudian udara tersebut digunakan untuk memanaskan wafer. Proses ini lambat dan membuang banyak tenaga.
Sinar inframerah pula berbeza. Ia menggunakan radiasi elektromagnetik untuk memanaskan permukaan wafer secara langsung. Tidak perlu lagi memanaskan kotak logam yang besar serta udara di sekelilingnya untuk mencapai tujuan yang sama.
Hasilnya? Proses pengeringan berlaku dengan cepat. Produktiviti meningkat, dan kos elektrik pula berkurangan. Ini merupakan situasi yang menang-menang.
Mendapatkan hasil yang tepat tanpa bahan beracun
Dengan kaedah lama, bahan pelarut perlu digunakan, dan bahan tersebut perlu dibakar menggunakan haba yang tinggi.
Dengan sinar inframerah, kita boleh menyesuaikan panjang gelombangnya. Kita boleh memanaskan bahagian tertentu pada wafer tanpa merosakkan substrat silikon itu sendiri.
Oleh kerana kaedah ini sangat tepat, tiada asap beracun yang terhasil. Selain itu, kita juga tidak perlu lagi menggunakan bahan penstabil yang mengandungi plumbum. Ini merupakan cara yang lebih bersih untuk melakukan proses pengeringan.
Keseimbangan antara kelajuan dan kualiti
Namun, ada beberapa kelemahan. Sistem sinar inframerah yang berintensiti tinggi menghasilkan banyak haba dalam ruang yang sempit. Jika sistem penyejukan tidak berfungsi dengan baik, wafer boleh rosak atau sambungan lampu boleh rosak.
Selalu ada pertukaran antara kelajuan dan kualiti. Jika lampu diletakkan terlalu dekat dengan wafer, proses pengeringan akan berlaku lebih cepat. Namun, ini juga boleh menyebabkan masalah seperti “titik panas”. Kita perlu mencari jarak yang sesuai agar semuanya berjalan lancar.
Kita menciptakan sistem ini sebagai pengganti ketuhar lama yang memerlukan tenaga yang banyak. Dengan cara ini, kita dapat menjimatkan ruang dan wang. Sangat mudah.