Het voorkomen van de nachtmerrie van storingen bij het verwerken van wafers
Als je ooit te maken hebt gehad met een gebroken IR-lamp tijdens een intensieve gebruikssessie, weet je dat het niet alleen gaat om de stilstand die dat veroorzaakt. Het is een puinhoop: gebroken glasstukken en tungstenvilamen vallen neer op de wafers, waardoor deze worden besmet.
We hebben veel tijd besteed aan het bedenken van manieren om te voorkomen dat dit gebeurt.
Waarom de aluminiumreflectoren belangrijk zijn
We gebruiken reflectoren van hoge zuiverheid, niet alleen om het licht richting de gewenste plek te sturen. Ze dienen ook als een soort ‘veiligheidsnet’. Door de lamp in een precisiegemaakt aluminium-frame te plaatsen, creëren we een fysieke barrière. Als de lamp kapotgaat, wordt het meeste afval opgevangen door het frame, zodat het niet verder kan komen. Bovendien helpt de vorm van deze reflectoren erbij om meer energie te behalen uit dezelfde hoeveelheid fotonen. Hierdoor kun je de gewenste temperatuur bereiken met minder vermogen. Dat is een groot voordeel, want minder hitte belast de kwartsbuizen, waardoor ze langer meegaan.
Het behouden van een schone omgeving
Ook plaatsen we beschermende schermen tussen de lamp en de wafers. Dit is een eenvoudige oplossing die veel problemen voorkomt. Als de lamp kapotgaat, worden de brokstukken opgevangen door het scherm. Je hoeft dan alleen nog maar de lamp te vervangen en weer verder te gaan met werken, in plaats van urenlang de hele kamer schoon te maken.
We zijn ook zeer attent op de aansluitingen. We hebben te vaak gezien dat buizen al vroeg kapotgingen door losse aansluitingen. Om dit te voorkomen, gebruiken we aansluitingen die stevig zijn en geen last hebben van trillingen.
De trade-off
Er is echter wel een nadeel: het toevoegen van reflectoren en schermen zorgt voor meer massa in het systeem. Je zult waarschijnlijk een kleine vertraging merken wanneer je de temperatuur verhoogt, vergeleken met het gebruik van gewone lampen. Je moet je PID-instellingen aanpassen om deze extra massa te compenseren, zodat je de gewenste temperatuur niet overschrijdt.
Het is een kleine prijs die je moet betalen voor het gevoel van veiligheid dat je hebt wanneer je weet dat je wafers veilig zijn.