Het correct verhitten van de wafer
Bij het verwerken van wafers is ‘bijna goed’ niet voldoende. De temperatuur moet op elke plek op het oppervlak precies hetzelfde zijn. Om dit te bereiken, gebruiken we reflectoren die bedekt zijn met goud.
Het gaat er niet om dat de apparatuur er mooi uitziet. Het gaat erom dat elke watt energie daadwerkelijk op de wafer terechtkomt.
Waarom goud?
Standaard aluminiumreflectoren zijn prima, maar ze nemen te veel infraroodenergie op. Het is net alsof je een bal probeert terug te kaatsen tegen een spons. Goud is anders: het weerspiegelt infraroodschijnwerpers uitstekend. In plaats van dat de warmte in de behuizing van de lamp terechtkomt en zo energie wordt verspild, wordt de warmte rechtstreeks teruggekaatst naar de wafer. Hierdoor kan je de gewenste temperatuur gemakkelijker bereiken, zonder dat je de vermogenssterkte hoeft op te drijven.
Het probleem van de hittedichtheid
Er is echter één probleem: wanneer je zoveel vermogen in zo’n kleine ruimte stopt, wordt het erg heet. Goud helpt bij het dirigeren van de energie, maar het doet de hitte niet verdwijnen. Als je maximaal vermogen wilt gebruiken, moet je ervoor zorgen dat de koelsystemen het druk kunnen aan. Als deze te zwak zijn, zal de behuizing van de sensor oververhit raken en zullen de ingestelde temperatuurwaarden gaan fluctueren. Dat is een probleem dat niemand wil hebben.
De afweging
Goud is uit goede redenen het standaardmateriaal, maar het is zeer zacht. Als het onderhoudsteam harde oplosmiddelen of schurende middelen gebruikt, zal de gouden laag worden weggesleten. Zodra het goud verdwenen is, neemt de efficiëntie drastisch af. Het is beter om gebruik te maken van een contactvrije reinigingsmethode. Op deze manier blijft het oppervlak intact.
Uiteindelijk zorgt deze configuratie er voor dat je geen energie verspilt aan het opwarmen van de lucht rondom de wafer. De energie komt precies waar het nodig is. Dit zorgt voor kortere opwarmtijden en houdt de thermische verschillen stabiel. Het werkt gewoon.