Waarom we overstappen op IR-technologie voor het drogen van wafers
Laten we het hebben over de oude manier van werken. Jarenlang hebben we gebruikgemaakt van grote convectieovens en een combinatie van schadelijke chemicaliën om wafers te drogen. Het werkte wel, maar het was inefficiënt.
Tegenwoordig gaat het niet alleen om het voldoen aan bepaalde regelgevingen. Het gaat er ook om om die schadelijke vluchtige organische verbindingen (VOC’s) te verminderen en de kooldioxide-uitstoot in de schone ruimte te verlagen. Dat is gewoon logisch.
Hoe IR-technologie precies werkt
Stel je een convectieoven voor: je verwarmt de lucht, zodat deze de wafel kan verwarmen. Dit proces is langzaam en inefficiënt.
IR-lampen werken anders. Ze gebruiken elektromagnetische straling om rechtstreeks de oppervlakte van de wafel te verwarmen. Er hoeft geen enorme metalen kast of de lucht eromheen te worden verhit.
Het resultaat? De wafel wordt bijna meteen gedroogd. Je productiewijze verbetert en je energierekening daalt. Het is een win-winsituatie.
Het bereiken van de juiste eigenschappen zonder giftige stoffen
Met de oude methoden moesten er vaak oplosmiddelen worden gebruikt, die vervolgens met hoge temperaturen moesten worden verteerd.
Met IR-technologie kunnen we de golflengte precies instellen. We kunnen alleen de plekken op de wafel verwarmen die dat nodig hebben, zonder dat het silicium zelf wordt beschadigd.
Omdat het zo nauwkeurig is, komen er geen giftige gassen vrij. Bovendien hoeven we geen loodhoudende stabilisatoren meer te gebruiken. Het is een schoner manier van werken.
De nadelen (want niets is perfect)
Er zijn echter ook nadelen. Hoge-intensiteitse IR-lampen genereren veel warmte in een zeer kleine ruimte. Als de koeling niet goed werkt, kan dat problemen opleveren. De wafel kan vervormen of de lampkanalen kunnen smelten.
Er is altijd een afweging tussen snelheid en gelijkmatigheid. Als je de lamp dichter bij de wafel plaatst, wordt deze sneller gedroogd. Maar dan loop je het risico op ‘hot spots’. Je moet dus een optimale afstand vinden om alles gelijkmatig te houden.
We hebben deze systemen ontworpen als vervanging voor die energieverslindende oude ovens. Hierdoor heb je minder ruimte nodig en hoef je minder geld uit te geven. Simpel gezegd.