Pare de esperar que o forno funcione: por que a cura por radiação infravermelha realmente funciona
Se você ainda depende da circulação de ar quente, na verdade está apenas esperando que o ar aqueça o substrato. É um processo lento. Em uma fábrica de semicondutores, esse atraso é um grande problema.
Nós substituímos esse método por lâmpadas de cura por radiação infravermelha certificadas. Em vez de usar convecção, utilizamos radiação para aquecer o substrato.
Levar o calor até onde ele precisa estar
As lâmpadas de radiação infravermelha emitem ondas eletromagnéticas que atingem diretamente o substrato. Não é preciso esperar que toda a câmara atinja uma determinada temperatura. A energia é absorvida instantaneamente.
Isso reduz os tempos de aquecimento, que antes levavam minutos, para meros segundos. Ao usar um sistema de radiação infravermelha, você elimina essa “inércia térmica” causada pelos antigos fornos a ar forçado.
Mais wafers, menos espaço ocupado
Os sistemas de ar quente são volumosos. É necessário muito espaço para acomodar os ventiladores e trocadores de calor.
Já as lâmpadas de radiação infravermelha são pequenas. Podem ser instaladas diretamente nas máquinas. Além disso, somente a área que realmente precisa ser aquecida é afetada, e não todo o ambiente.
É uma questão simples de matemática: ciclos de cura mais rápidos significam mais wafers processados por hora. Menos tempo de processamento significa menor custo por unidade. Faz sentido.
A desvantagem (porque sempre há uma)
A radiação infravermelha não é uma solução mágica. Como o calor é aplicado rapidamente, é fácil exceder a temperatura desejada se os controladores PID não estiverem bem ajustados.
Além disso, é preciso ter cuidado com a dissipação de calor. Se o gabinete não tiver boa ventilação, os componentes eletrônicos podem ser danificados. É necessário usar ventiladores capazes de manter a temperatura sob controle, caso contrário, as lâmpadas podem queimar prematuramente.
Meu conselho? Use um termopar de resposta rápida e mantenha uma distância pequena entre a lâmpada e o substrato. Assim, você aproveita ao máximo as vantagens da radiação infravermelha.