Прекратите ждать, пока разогреется печь: почему инфракрасное обесцвечивание действительно эффективно
Если вы все еще полагаетесь на систему циркуляции горячего воздуха, то, по сути, вы просто ждете. Вы нагреваете воздух, а затем ждете, пока этот воздух нагреет пластину. Этот процесс медленный. На производстве полупроводников такая задержка становится серьезной проблемой.
Мы перешли на использование сертифицированных инфракрасных ламп для обесцвечивания, чтобы избавиться от необходимости использования воздушных систем. Вместо конвекции мы используем излучение.
Тепло достигает нужного места
Инфракрасные лампы излучают электромагнитные волны, которые напрямую воздействуют на подложку. Не нужно ждать, пока вся камера достигнет определенной температуры. Энергия мгновенно проникает в материал.
Это позволяет сократить время нагрева с нескольких минут до нескольких секунд. При использовании инфракрасной системы исчезает проблема медленного нагрева, свойственная старым печам с принудительной циркуляцией воздуха.
Больше пластин, меньше сложностей
Системы с горячим воздухом требуют большого пространства для размещения вентиляторов и теплообменников. Инфракрасные лампы же имеют небольшие размеры. Их можно разместить прямо в устройстве. К тому же нагревается только та часть, которая действительно нужна, а не вся комната.
Это простая математика: более быстрый процесс обесцвечивания означает, что за час через устройство может пройти больше пластин. Меньший времени обработки — это меньшие затраты на единицу продукции. Это просто логично.
Но есть и недостатки
Инфракрасное обесцвечивание — это не волшебство. Поскольку тепло приходит очень быстро, легко превысить желаемую температуру, если контроллеры PID не настроены правильно.
Кроме того, необходимо обращать внимание на распределение тепла. Если корпус устройства плохо вентилируется, это может привести к повреждению самого устройства. Необходимы вентиляторы, способные справляться с объемом воздуха, иначе лампы будут быстро изнашиваться.
Мой совет: используйте термопары с быстрой реакцией и поддерживайте маленькое расстояние между лампой и пластиной. Так вы сможете максимально эффективно использовать излучение.