Neden yarı iletken üretim hatlarında su geçirmez kızılötesi lambalar kullanıyoruz?
Yarı iletken üretimindeki durulama ve kurutma işlemlerinden bahsedelim. Eğer bu tür hatlarda çalıştıysanız, bunun genellikle tüm süreci yavaşlatan bir aşama olduğunu biliyorsunuzdur. Bu bir tür engeldir.
Bunu çözmek için su geçirmez kızılötesi lambalar kullanıyoruz. Bunlar, waferin “tamamen ıslaktan” “tamamen kuru hale gelmesini” sağlamak için en iyi araçlardır; aynı zamanda yüzeyi bozmaz ve herhangi bir kir bırakmaz.
Eski tip fırınların sorunları
Eskiden insanlar konveksiyon fırınları kullanırdı. Ama bir düşünün: Küçük bir waferi kurutmak için büyük miktarda hava ısıtılıyordu. Bu da enerji israfı demektir.
Kızılötesi lambalar ise farklıdır. Elektromanyetik radyasyon kullanarak wafer üzerindeki nemi doğrudan etkiler. Havadan tamamen kaçınılır. Bu kadar verimli oldukları için, işi yapmak için o eski, tehlikeli kimyasal çözücülere veya kurşun içeren katkılara ihtiyaç yoktur. Bu yöntem temiz ve doğrudan bir enerji kullanımıdır.
Nemle başa çıkma
İşin zor kısmı şu: Bu lambalar durulama istasyonunun hemen ardında yer alır. Yani sürekli olarak nem ve kimyasal buharlarla karşı karşıya kalırlar. Bu oldukça zorlu bir ortamdır.
Eğer normal bir kuvars tüpü çok sıcakken suyla temas ederse hemen kırılır. Bunu önlemek için özel kuvars kaplamalar ve mühürlenmiş uç kapaklar kullanıyoruz. Böylece nem filamanın içine giremez ve lamba zarar görmez.
Ayrıca kısa dalga boylu kızılötesi lambalar kullanıyoruz. Neden mi? Çünkü daha derine nüfuz eder ve suyu saniyeler içinde yüzeyden uzaklaştırır. Çok hızlıdır. Bu sayede ekipmanınızın yer kaplaması da azalır.
Sorun: Isının kontrolü
Ancak burada bir denge sorunu var. Yüksek yoğunluktaki kızılötesi ışınlar çok fazla ısı yaydığı için, bu lambaları doğrudan prize takıp unutmak mümkün değildir.
Eğer sağlam bir soğutma sisteminiz yoksa, ekipmanınız deformeye başlayacaktır. Daha da kötüsü, lambalar “ısı birikimi” nedeniyle erken yanabilir. Soğutmayı doğru şekilde ayarlamanız gerekir; aksi takdirde yedek parçalara para harcamış olursunuz.
Biz bu lambaları doğrudan yerine takılabilen şekilde tasarlıyoruz. Dalga boyunu, suyun ısıyı nasıl emdiğine göre ayarlayarak, waferi aşırı ısınmadan mükemmel şekilde kurutabiliyoruz. İşte bu kadar basit.