Trong quy trình sản xuất wafer, sự biến đổi nhiệt độ không chỉ là một thông số cần được theo dõi – mà còn là nguyên nhân trực tiếp gây ra tỷ lệ wafer bị hỏng. Sự chênh lệch nhiệt độ 0,5°C trong quá trình xử lý bằng tia cực tím có thể làm sai lệch kích thước của các chi tiết trên wafer. Nếu còn chất dung môi sót lại trên bề mặt wafer, điều đó sẽ dẫn đến việc wafer bị hỏng.
Chúng tôi đã thiết kế hệ thống sưởi ấm wafer dành cho mục đích ngăn chặn những sự cố này, ngay tại những bước xử lý liên quan đến việc tạo hình và làm sạch wafer.
Những yếu tố quan trọng thực sự Chúng tôi sử dụng các bộ phát tia hồng ngoại tần số thấp để truyền năng lượng nhiệt trực tiếp vào wafer – một cách nhanh chóng, hiệu quả và có thể lặp đi lặp lại. Trong phạm vi nhiệt độ từ 60°C cho quá trình xử lý nhẹ, đến 120°C cho quá trình xử lý mạnh, mức độ đồng đều về nhiệt độ trên bề mặt wafer vẫn nằm trong khoảng ±0,1°C.
Hệ thống kiểm soát đa vùng giúp duy trì mức độ đồng đều này, đồng thời bù đắp cho sự suy giảm hiệu suất của các bộ phát tia và sự thay đổi điện áp trong quá trình hoạt động. Hệ thống này cũng phù hợp với môi trường phòng sạch loại 1–100, với mức độ tạo ra hạt bụi bằng không trong quá trình xử lý nhiệt.
Tại sao hệ thống này lại được ưa chuộng trong công nghệ in ấn và làm sạch wafer? Trong công nghệ in ấn, việc xử lý bằng tia cực tím ở nhiệt độ ổn định giúp làm ổn định lớp phim photoresist. Điều này giúp việc kiểm soát kích thước của các chi tiết trên wafer trở nên chính xác hơn, đồng thời giảm thiểu số lượng wafer bị hỏng.
Đối với quá trình làm khô wafer, cùng hệ thống nhiệt này giúp loại bỏ chất dung môi mà không gây ra những khiếm khuyết trên bề mặt wafer – không còn hiện tượng xuất hiện vết nước trên bề mặt wafer, từ đó tránh được các sự cố về mặt điện tử.
Việc tăng nhiệt độ nhanh chóng và khả năng kiểm soát nhiệt độ chính xác giúp rút ngắn thời gian xử lý. Việc thu hồi năng lượng cũng giúp giảm mức tiêu thụ năng lượng. Hệ thống này được thiết kế để hoạt động 24/7 mà không gây ra sự gián đoạn nào, giúp duy trì tỷ lệ wafer thành phẩm ổn định và lịch trình bảo trì có thể dự đoán được.
Những chi tiết giúp tránh rủi ro Việc sử dụng tia hồng ngoại tần số thấp đòi hỏi phải quản lý nhiệt độ một cách cẩn thận, đặc biệt đối với các lớp vật liệu nhạy cảm với nhiệt. Chúng tôi cung cấp các bộ dữ liệu liên quan đến quy trình xử lý, và đội ngũ kỹ thuật của chúng tôi sẽ hỗ trợ bạn điều chỉnh thời gian chiếu tia và nhiệt độ phù hợp.
Việc lắp đặt hệ thống này đòi hỏi có đường dây điện 240V riêng biệt, cùng hệ thống thông gió để duy trì áp suất trong phòng sạch. Khi hệ thống được điều chỉnh phù hợp với quy trình sản xuất của bạn, thì vấn đề nhiệt độ sẽ không còn là mối nguy hiểm nữa, mà trở thành yếu tố có thể kiểm soát được.