
Hãy ngừng biến những chiếc xe chở linh kiện bán dẫn thành những “bộ sưởi không gian” đi. Khi di chuyển các tấm wafer bán dẫn, việc duy trì nhiệt độ phù hợp là điều rất quan trọng. Trong thời gian dài, người ta thường sử dụng các bộ sưởi kiểu đối lưu để làm ấm các tấm wafer này. Nhưng vấn đề là chúng làm nóng toàn bộ không khí xung quanh. Kết quả là chiếc xe chở wafer trở thành một “bộ sưởi khổng lồ”, và những người vận hành có nguy cơ bị bỏng chỉ khi chạm vào các bức tường bên ngoài của chiếc xe.
Đó thật là một tình trạng tồi tệ. Vì vậy, chúng tôi quyết định ngừng sử dụng phương pháp sưởi kiểu đối lưu và chuyển sang sử dụng phương pháp sưởi bằng tia hồng ngoại.
Cách thức hoạt động
Hãy tưởng tượng đó như một chiếc đèn pin, nhưng thay vì ánh sáng, nó phát ra nhiệt. Thay vì làm ấm toàn bộ không khí bên trong chiếc xe, các bóng đèn hồng ngoại phát ra bức xạ điện từ theo một đường thẳng. Năng lượng này chỉ chuyển thành nhiệt khi chạm vào mục tiêu cần được làm ấm. Bằng cách bố trí các bóng đèn một cách hợp lý và sử dụng các tấm phản xạ, chúng ta có thể đưa nhiệt trực tiếp đến nơi cần thiết. Các bức tường bên trong chiếc xe sẽ không hấp thụ năng lượng dư thừa, và thân xe vẫn giữ được nhiệt độ mát mẻ. Như vậy, nhiệt lượng sẽ được truyền đến chính nơi cần thiết, chứ không lan ra nơi khác.
Những hạn chế
Chúng tôi thường sử dụng các bóng đèn thạch anh sóng ngắn. Chúng rất tốt vì có thể làm ấm nhanh chóng. Chỉ cần kết nối chúng với nguồn điện của chiếc xe là đã có thể kiểm soát nhiệt độ một cách chính xác. Nhưng có một nhược điểm: nhiệt lượng được phát ra rất cao. Nếu tấm phản xạ bị lệch vị trí hoặc chiếc xe chạy mà không mang theo linh kiện nào, năng lượng đó sẽ phản xạ vào các bức tường bên trong chiếc xe. Bạn cần đảm bảo rằng lớp vỏ bọc bên trong chiếc xe có thể chịu đựng được bước sóng đó; nếu không, chiếc xe sẽ bị biến dạng.
Tại sao điều này lại giúp ích?
Điều tốt nhất là chúng ta có thể loại bỏ lớp cách nhiệt dày cồng kềnh ở bên ngoài chiếc xe. Điều này giúp giảm kích thước của chiếc xe, từ đó giúp cải thiện dòng khí trong phòng sạch. Ngoài ra, nhân viên có thể vận hành thiết bị mà không lo bị bỏng. Điều này giúp quy trình vận hành trở nên đơn giản hơn, và bạn cũng không cần phải lo lắng về việc phải làm mát phòng chỉ vì việc di chuyển vài tấm wafer mà thôi.