正确控制晶圆加热温度
在处理晶圆时， “差不多” 的做法是行不通的。必须确保整个晶圆表面的温度都保持一致。为此，我们使用了镀金反射器。
其实，重点不在于让设备看起来更美观，而在于确保每一瓦特的能量都能准确地照射到晶圆上。
为什么选择黄金？
普通铝制反射器的效果不错，但它们会吸收过多的红外能量。这就好比试图用海绵来弹回子弹一样。而黄金则不同，它能够有效反射红外线。这样一来，热量就不会被浪费在灯壳中，而是直接反射回目标区域。这样一来，就不需要那么高的功率就能达到所需的温度了。
热密度问题
不过，这也存在一个问题：当如此大的功率被集中在如此小的空间里时，温度会迅速上升。虽然黄金有助于将能量引导到正确的地方，但它并不能完全消除热量。如果想要获得最大的功率输出，就必须确保冷却系统能够承受这样的负荷。如果冷却系统不够强大，传感器外壳就会过热，从而导致温度设定值出现偏差。这显然是大家都不希望看到的情况。
权衡利弊
黄金之所以成为最佳选择，是因为它的反射性能极佳。不过，它的质地非常柔软。如果使用强效溶剂或研磨剂来清洁表面，就会把黄金涂层刮掉。一旦黄金涂层被破坏，设备的效率就会大幅下降。因此，最好采用非接触式的清洁方式，这样就能保持表面的完整性。
归根结底，这种设计可以避免能源被浪费在加热晶圆周围的空气中。能量可以被精准地传输到需要的地方，从而缩短升温时间，并保持稳定的温度梯度。这就是它的优势所在。