别再等待烤箱加热了：为什么红外固化技术更有效
如果你仍依赖热空气循环来加热，那其实就是在白白等待。你需要先加热空气，然后再等待空气将晶圆加热。这个过程非常缓慢。在半导体制造厂里，这样的延迟时间实在不可接受。
我们改用了经过认证的红外固化灯，这样就无需再依赖那种中间环节了。我们不再使用对流加热方式，而是直接利用辐射热来加热晶圆。
将热量精准传递到需要的地方
红外灯会发出电磁波，这些电磁波直接作用于晶圆表面。你无需等待整个腔体达到特定温度，因为能量可以立刻被吸收。这样一来，原本需要几分钟才能完成的加热过程，现在只需几秒钟即可完成。使用红外系统后，那些由传统强制风冷式烤箱带来的缓慢加热问题就不再存在了。
更多晶圆，更少麻烦
热空气系统体积庞大，需要足够的空间来容纳鼓风机和换热器。而红外灯则小巧轻便，可以直接安装在设备中。此外，它只会加热真正需要加热的部分，而不会让整个空间都变得过热。
从数学上来说，更快的固化速度意味着每小时能处理更多晶圆。更短的停留时间意味着每单位的成本更低。这显然是合乎逻辑的。
当然，也有缺点
不过，红外技术并非万能。由于热量传递速度太快，如果PID控制器设置不当，就很容易超过目标温度。此外，还必须注意热量散发的问题。如果设备没有良好的通风系统，那么设备本身的电子元件就容易被烧毁。因此，需要配备高效的冷却风扇，否则灯管很快就会损坏。
我的建议是：使用响应迅速的热电偶，并确保灯管与晶圆之间的距离尽可能小。这样就能充分发挥红外辐射的优势了。