
در یک خط ۳۰۰ میلیمتری، یک اثر آب پس از تمیزکاری برای از بین بردن کل دسته کافی است. ما Deionized Water Drying Lamp را ساختیم تا این حالت خطا را از بین ببرد و تبخیر کنترلشدهای بدون باقیماندن فیلم و بدون نوسانات ذرات را به شما ارائه دهد.
از نظر تکنیکی چه اهمیتی دارد
این لامپ شامل فرستندههای مادون قرمز موج کوتاه است که در یک محفظه مهر و مومشده و سازگار با اتاق تمیز قرار گرفتهاند. سطح وافر را مستقیماً گرم میکند و به این ترتیب تاخیر ناشی از همرفت را از بین میبرید. یکنواختی دما در سراسر وافر در حد ±0.1°C حفظ میشود و تکرارپذیری نقطه تنظیم در بیش از ۱۰,۰۰۰ سیکل پخت ±0.2°C است.
شروع سرد تا پروفیل پایدار پخت کمتر از ۳۰ ثانیه طول میکشد و عملکرد بدون تولید ذره در مقابل استانداردهای ISO کلاس 1 تا 100 تأیید شده است. سیستم برای کار مداوم ۲۴/۷ طراحی شده و بازخورد حرارتی پیشبینیکنندهی آن انحراف خروجی را در طول ۵,۰۰۰ ساعت زیر ۵٪ نگه میدارد.
چرا در فرآیندهای واقعی مؤثر است
در مرحله خشک کردن پس از تمیزکاری و مراحل پخت فوتورزیست، این لامپ بودجه حرارتی شما را با جلوگیری از تجاوز دما حفظ میکند؛ تجاوز دمایی که میتواند باعث نازک شدن TTOP یا تغییر شکل نمایه کف (foot profile) شود. در نتیجه، کنترل ابعاد (CD) دقیقتر و تعداد اصلاحات در هر دو نوع پخت نرم و سخت کاهش مییابد، در حالی که مصرف انرژی در مقایسه با استفاده از صفحههای پخت کل محفظه کاهش مییابد.
افزایش بازدهی با پنجره فرآیندی گستردهتر حاصل میشود و دیگر به خاطر اثرات آب باقیمانده دستهها را دور نمیریزید.
چه مواردی برای برنامهریزی لازم است
این لامپ نیاز به نصب با درجه اتاق تمیز و تغذیه برق فیلتر شده و اختصاصی دارد تا ثبات حرارتی در حد مطلوب حفظ شود. برای وافرهای ۱۵۰/۲۰۰/۳۰۰ میلیمتری بهینه شده است.
کیتهای ارتقا برای اکثر پلتفرمهای Track مناسب هستند، اما اگر قصد اتصال به کورههای قدیمی را دارید، ممکن است به پایهای سفارشی برای تنظیم میدان تابش نیاز داشته باشید. برنامهریزی یک دوره کوتاه ارزیابی برای تثبیت پروفیل پخت و تأیید عملکرد ذرات نسبت به خط مبنا ضروری است.