مقدمه حقیقت این است که ما قطعات گرمکن مورد استفاده در دستگاه‌های لیتوگرافی EUV را به یک دلیل ساده تولید می‌کنیم؛ تا دستگاه‌های شما بتوانند به طور...

در این فرآیند، دستگاه‌های لیتوگرافی نمی‌توانند با تغییرات دمایی مقابله کنند. تغییر دما در حدود ۲ درجه سانتی‌گراد، ضخامت فیلم فوتورزیست را تغییر...