در این فرآیند، دستگاههای لیتوگرافی نمیتوانند با تغییرات دمایی مقابله کنند. تغییر دما در حدود ۲ درجه سانتیگراد، ضخامت فیلم فوتورزیست را تغییر میدهد؛ همچنین، عدم یکنواختی در دمای بالا، استرسهای باقیمانده را در خود فیلم تثبیت میکند. این موضوع صرفاً یک نظریه نیست؛ بلکه منجر به از بین رفتن ویفرها، عدم رعایت استانداردها و توقفهای غیرمنتظره در فرآیند تولید میشود. ما قطعات مورد نیاز برای پردازش ویفرها را دقیقاً برای مقابله با این شرایط طراحی کردهایم: اجزای گرمایشی که باعث یکنواختی دمایی در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد میشوند؛ تا هر بار فرآیند پخت در محدوده استانداردها انجام شود.
چه چیزهایی اهمیت دارند؟
لامپهای هالوژنی، کوتاهامواج و متوسطامواج موجود در این دستگاهها، سرعت بالایی در رسیدن به دمای مورد نظر دارند و دمای آنها در طول زمان ثابت میماند؛ بنابراین فرآیند پخت فیلم فوتورزیست نیز در هر شیفت تکرار میشود. قطعات کوارتزی و ساختارهای فیبر کربنی نیز باعث میشوند تولید ذرات در حد صفر باقی بماند؛ بنابراین در اتاقهای پاکسازی کلاس ۱ تا ۱۰۰، هیچ مشکلی پیش نمیآید. استانداردهای مربوط به این قطعات، طوری تعیین شدهاند که برای استفاده در دستگاههای OEM مناسب باشند؛ ولتاژ و توان مربوطه نیز با استانداردهای OEM همخوانی دارد. همچنین، ابعاد این قطعات نیز با دقت بالایی تعیین شدهاند تا هماهنگی و کیفیت تماس بین قطعات حفظ شود.
دلیل اینکه این قطعات در کارخانههایی که ۲۴ ساعته فعالیت میکنند، مقاوم هستند، این است که این قطعات برای کار مداوم طراحی شدهاند؛ دادههای مربوط به عمر این قطعات نیز در حین استفاده ثبت میشود و استقرار عملکرد آنها نیز در طول هزاران ساعت کار بررسی میشود. این امر منجر به کاهش تعداد ویفرهای از بین رفته، کاهش کارهای تکراری و عملکرد پیشبینیپذیر تجهیزات در طول چرخههای تعمیرات میشود. کنترل دمایی دقیق نیز باعث کاهش مصرف انرژی در هر ویفر میشود؛ این امر به حفظ پیشبینیپذیری مصرف انرژی و یکنواختی زمان فرآیند کمک میکند.
چند نکته عملی: سازگاری این قطعات با تمام دستگاهها وجود ندارد؛ لذا قبل از خرید، باید پلتفرم OEM، ساختار دستگاه و روش کنترل آن را بررسی کرد. برخی از دستگاههای قدیمی نیاز به استفاده از پلاتهای اتصال یا بررسی سریع فریمور دارند. نصب این قطعات نیز ساده است؛ اما همیشه باید فرآیند تعویض قطعات در حالت خنک انجام شود. این کار هم از قطعات محافظت میکند و هم از اپراتورها.