در این فرآیند، دستگاه‌های لیتوگرافی نمی‌توانند با تغییرات دمایی مقابله کنند. تغییر دما در حدود ۲ درجه سانتی‌گراد، ضخامت فیلم فوتورزیست را تغییر...

در سطح کارخانه، چند درجه تغییر دما در حین پخت فوتورزیست یک “انحراف جزئی” نیست. این موضوع به طور مستقیم بر یکنواختی ابعاد بحرانی تأثیر...