دیگر اجازه ندهید که واگنهای مورد استفاده در اتاقهای تمیز، به منبع گرمایشی تبدیل شوند!
هنگام حرکت دادن ویفرهای نیمههادی، حفظ دمای مناسب برای آنها کاری بسیار دشوار است. برای مدتها، روش رایج استفاده از هیترهای حرارتی بود؛ اما مشکل این روش این بود که آنها همه چیز را گرم میکردند. در نتیجه، واگنها به نوعی رادیاتورهای عظیم الجثه تبدیل میشدند، و اپراتورها با لمس دیوارههای خارجی آنها، در معرض خطر سوختگی قرار میگرفتند.
پس تصمیم گرفتیم که دیگر با جریان هوا مبارزه نکنیم، و به جای آن از روش گرمایش مادون قرمز استفاده کنیم.
نحوه کارکرد این روش
میتوانید آن را مانند یک فلاش لامپ در نظر بگیرید؛ اما در اینجا انرژی صادر شده، گرماست. به جای گرم کردن کل هوای داخل واگن، لامپهای مادون قرمز، تشعشعات الکترومغناطیسی را در خط مستقیم ارسال میکنند. این انرژی تا زمانی که به هدف مورد نظر برخورد نکند، به گرما تبدیل نمیشود.
با قرار دادن صحیح لامپها و استفاده از منعکسکنندهها، میتوانیم گرما را مستقیماً به سمت ویفرها هدایت کنیم. دیوارههای داخلی واگن، انرژی اضافی را جذب نمیکنند؛ بنابراین بدنه واگن همچنان خنک باقی میماند. گرما دقیقاً در جایی که ویفرها به آن نیاز دارند، تولید میشود.
معایب این روش (چون هیچ چیز کامل نیست)
معمولاً از لامپهای کوارتز با موجهای کوتاه استفاده میکنیم؛ زیرا آنها تقریباً بلافاصله دمای مورد نظر را ایجاد میکنند. کافی است آنها را به سیستم تغذیه برق واگن متصل کنید؛ در نتیجه، دمای واگن کنترل خواهد شد.
اما مشکل اینجاست که این گرما بسیار متمرکز است؛ اگر منعکسکنندهها از جای خود خارج شوند، یا واگن بدون بار حرکت کند، این انرژی به دیوارههای داخلی واگن برخورد خواهد کرد. بنابراین باید مطمئن شوید که پوشش داخلی واگن قادر به تحمل این موجهای خاص باشد؛ در غیر این صورت، بدنه واگن دچار تخریب خواهد شد.
چرا این روش کار را آسانتر میکند؟
بهترین نکته این است که دیگر نیازی به استفاده از عایقهای سنگین و بزرگ در بیرون واگن نیست. این کار باعث کاهش اندازه واگن میشود؛ که برای جریان هوای مناسب در اتاقهای تمیز، بسیار مفید است. علاوه بر این، اپراتورها میتوانند بدون نگرانی از سوختگی، از این تجهیزات استفاده کنند. این روش کل فرآیند را سادهتر میکند؛ و دیگر نیازی نیست برای خنک کردن اتاق، با سیستم تهویه هوا مبارزه کنیم.