הקדמה האמת היא שאנו מייצרים רכיבי חימום לשימוש בטכנולוגיית EUV מסיבה אחת בלבד – כדי שכלי הליתוגרפיה שלכם יוכלו לעבוד ללא הפסקה. בלי זמני עצירה, בלי...

בפועל, תאי ליתוגרפיה אינם יכולים להתמודד עם שינויים בטמפרטורה. שינוי של 2°C במהלך תהליך החימום גורם לשינוי בעובי הפוטורזיסט, ואילו חוסר אחידות בחימום...