赤外線ランプ取り付けクリップ

ファブの現場では、ご存知の通り、フォトレジストの焼成時に0.5℃の温度変動があるだけで、重要な寸法がナノメートル単位で変わってしまい、リソグラフィーの要件を満たせなくなってしまいます。そのため、赤外線ランプを固定するクリップは、単なる支持部品ではありません。それは、ウェハ全体の温度を±0.1℃以内...