半導体の加熱過程での汚染を防ぐために もしクラス100のクリーンルームを使用しているなら、エアフィルターだけでは不十分だということはご存知でしょう。本当の問題は、目に見えないものです。 ほとんどの赤外線ランプは問題を引き起こします。そのコーティングが剥がれ落ちたり、石英自体が高温で破壊されてしまい...

熱を無駄にしないで：なぜ金メッキされたツインチューブ型ランプが効果的なのか 半導体ウェーハを加熱する際には、1ワットというエネルギーも大切です。 標準的な石英ランプの問題点は、放射線があらゆる方向に放出されることです。高価なエネルギーの多くがチャンバーの壁に当たってしまい、無駄になってしまいます。...