フロア上では、トラッカーが一定のリズムを刻み続けている。クリーンルームの空気が肌に触れ、その緊張感も感じ取れる。あるオーブンがドリフトを始めている。ボート全体の温度分布が広がり、フォトレジストのプロファイルが傾き始めている。歩留まりが低下し、その様子をリアルタイムで見ている状態だ。 多くの場合、根...

Introduction 率直に言おう。このポータブル産業用ヒーターは、ある特定の厄介な問題を解決するために開発された：巨大な倉庫の加熱である。 従来の強制空気方式はよくある手法だが、空気中に熱をただ放出し、鉄骨や広大な空間に無駄なエネルギー（およびコスト）を費やしている。われわれのアプローチは異...