ウエハー加工用スペアパーツ オンライン販売

実際には、リソグラフィ装置ではドリフトを許容できません。ソフトベイク時の2℃程度の温度変動によってフォトレジストの厚さが変わり、ハードベイク時には残留応力がフィルム内に残ってしまいます。これは単なる理論上の話ではありません。実際には、廃棄されるウェーハや仕様を満たせない製品、計画外の停止時間が発生...